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晶圆光擦除UV装置

晶圆光擦除UV装置

应用领域
半导体产业:晶圆、IC 芯片数据擦除,晶圆表面光清洗加工
电子制造行业:PCB 线路板、EPROM 存储器件紫外消磁擦除处理
IC 封装工序:器件贴合前表面洁净处理、表层性能改质加工

朗普晶圆光擦除 UV 装置,是针对半导体行业 “高效、精准、安全” 需求自主研发的核心设备,核心优势聚焦四点:
精准波长采用 254nm UVC 紫外线(光擦除黄金波长),确保快速清除晶圆数据 / 光刻胶;
高强度光照:初始峰值照度 50000μW/cm²,优于同类机型;
均匀覆盖:优化光路设计,光照面均匀,避免局部擦除不彻底;
多尺寸兼容:无需更换托盘即可适配 8 英寸 / 12 英寸晶圆,降低操作复杂度。






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