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OTP 紫外光擦除装置

OTP 紫外光擦除装置

朗普自主研发 OTP 专用 UV 光擦除设备,专为晶圆 OTP 数据擦除、光刻胶剥离打造,支持 PLC 精准控参,兼顾实验室试样与工厂大批量产线使用。

应用领域

1、OTP/EPROM 存储晶圆、IC 芯片数据程序紫外擦除(芯片封测、返工核心工序);
2、半导体晶圆光刻胶分解去除;
3、IC 封装贴合前晶圆表面有机物清洁、表面活化改质;
4、PCB 电路板紫外清洗、表面改性;
5、高校、科研院所微电子、材料紫外实验处理

核心优势

精准波长采用 254nm UVC 紫外线(光擦除黄金波长),快速清除晶圆数据 / 光刻胶;
高强度光照初始峰值照度 50000μW/cm²,优于同类机型;
均匀覆盖优化光路设计,光照面均匀,避免局部擦除不彻底;
多尺寸兼容无需更换托盘即可适配 8 英寸 / 12 英寸晶圆。

  • 技术参数

    UV-ERX2 与 UV-ERX3-PRO 晶圆紫外擦除设备参数对比表
  • 应用案例

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