如何实现平面加热的高温度均匀性？

在工业生产中，对于平面加热过程，保证表面温度分布的均匀性至关重要。这一点对于确保产品质量、提高生产效率至关重要。而红外线加热技术由于其高效、均匀、可控和非接触的特点，成为了解决平面加热需求的理想选择。在这一领域，LONGPRO公司推出了一系列创新技术，旨在实现平面高均匀度的红外加热，从而满足不同行业的加热需求。
LONGPRO的红外线辐射加热模块通过优化热源灯丝内部发光体结构、反光板结构以及阵列布灯，使得被加热表面能够接收到均匀的红外辐射能量，从而有效降低了温度不均匀所带来的不良工艺质量问题。
LONGPRO平面加热方案
1、优化灯丝热能分布结构：通过改进灯丝的热能分布结构，实现了类矩形加热，与传统的双尖形加热方式相比，有效减少了中间区域的热聚集，避免了两端温度不均匀的问题。这一技术改进在晶圆片、电池片、金属片等平面材料的加热过程中具有显著的效果。
2、LONGPRO数据库+光学运算：结合先进的数据库和光学运算技术，精确计算出阵列布灯的距离与高度比例，以确保在晶圆表面均匀分布的红外辐射能量，从而进一步提升加热效果。这种精密的设计能够确保在加热过程中不同区域的温度分布相对均匀，提高了生产效率和产品质量。
3、背面弧形光学反光曲率设计：采用背面弧形光学反光曲率设计，对辐照场进行修正，进一步提高了整个加热场的均匀性。这项技术的应用能够有效避免不均匀的辐射热场现象，确保加热过程中的温度分布更加均匀。
4、精确的温度控制系统：我们配备了先进的电控系统和非接触式测温探头，实现了闭环控制。这意味着他们能够实时监测材料表面的温度，快速响应并调整加热功率，以减少温度过冲或不足，从而有效预防可能导致工艺问题的温度波动。这种精确的温度控制系统是确保加热过程中温度分布均匀的关键。
红外线辐照均匀，精度误差：≤±5%